直線固晶機案例視頻
高精度的耦合YZ平臺，可在Y和Z反向運動長行程
- Y軸行程最大可至200mm
- Z軸行程最大可至50mm
- 低運動負載(Z軸定子不會隨著運動而成為移動負載)
- Y和Z方向的超高加速度
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高精度的耦合YZ平臺，可在Y和Z反向運動長行程
- Y軸行程最大可至200mm
- Z軸行程最大可至50mm
- 低運動負載(Z軸定子不會隨著運動而成為移動負載)
- Y和Z方向的超高加速度
